问题:制造边界逼近纳米尺度,精度与维度成为新瓶颈。
当前集成电路等高端制造以光刻为代表,擅长在材料表面进行高分辨率图形转移,但本质仍以“平面加工”为主。
面对更复杂的三维结构需求,尤其是需要在材料内部定点构筑微纳结构、实现多层互连或功能单元“埋入式”制造时,传统技术在穿透深度、加工灵活性以及极短波长光在材料中易吸收等方面制约明显。
进入后摩尔时代,算力提升还遭遇功耗与互连瓶颈,亟需在器件结构、材料形态与制造方式上寻求突破。
原因:衍射极限与材料相互作用机制限制了传统“更细的光笔”。
光学成像与加工普遍受到衍射极限约束,光束难以聚焦到远小于波长的尺寸范围内;为追求更小特征尺寸,往往需要更短波长光源与更复杂的系统工程。
与此同时,极短波长光在多种材料中的传播与吸收特性,使“从表面向内部”的精密加工面临效率与可控性难题。
更关键的是,许多未来器件并非简单的二维线条缩小,而是要在三维空间实现精密布局与功能耦合,这要求加工手段同时具备“进入内部”“按需成形”“超高分辨率”三项能力。
影响:亚10纳米超快激光加工为三维精密制造打开新通道。
以飞秒激光为代表的超快激光脉冲持续时间极短,能量可在极小时间窗口内高度集中;通过多光子吸收等非线性效应,原本对激光透明的材料可仅在焦点附近发生局域反应,从而实现“在内部、在微点、在瞬间”的受控加工。
这一机制使加工区域更小、热影响更低,有望突破传统聚焦与加工的尺度约束,将精度推进到10纳米以下,为三维微纳结构制造提供“光的雕刻刀”。
在应用层面,该技术特别契合三维光子结构的制造需求:光子器件依赖低损耗传输通道与高精度耦合结构,微小的加工误差就可能引发散射与串扰;当互连密度持续提升,单纯依靠平面布线难以避免交叉干扰和空间拥挤,向“立体互连”发展成为重要方向。
利用激光直写在光敏材料内部构建可弯曲、可交织的微纳光波导,有助于在有限体积内实现高密度、多层级的光路组织,推动光子芯片从“二维排布”走向“三维集成”。
对策:以需求牵引推进关键技术攻关与产业化验证。
一是强化基础研究与工程化协同,围绕超快激光源稳定性、聚焦与定位精度、材料响应机制、加工一致性等关键环节持续突破,提升从“实验室可行”到“规模化可用”的能力。
二是面向应用场景开展系统集成验证,聚焦三维光子芯片、片上互连、高密度信息存储、精密传感以及新型量子器件等方向,推动工艺—材料—器件协同设计,形成可评估、可复现的工艺窗口与标准体系。
三是完善高端制造生态与人才支撑,促进装备、软件、材料、检测计量等上下游协同创新,补齐精密制造中“加工—表征—反馈优化”的闭环能力,提升国产化配套与供应链韧性。
前景:三维纳米制造或成未来信息器件的重要“底层能力”。
从产业演进看,信息技术竞争正从单纯的线宽缩小延展到三维架构、异质集成与新型互连体系。
随着数据中心、智能计算、先进传感等需求增长,低延迟、高带宽、低能耗的互连将成为关键变量。
三维光子结构若能在体积、互连密度与损耗控制方面形成优势,有望为超级计算、光通信与新一代芯片形态提供新的实现路径。
更长远看,能够在材料内部实现纳米级精密操控的加工技术,还可能带动高端功能材料、精密医疗器械与前沿科学装置的制造革新,成为“纳米工厂”时代的重要通用工具。
从石器打磨到激光雕刻,人类对精度的追求永无止境。
这项突破不仅标志着我国在高端制造领域实现从跟跑到领跑的跨越,更预示着信息技术的又一次范式革命。
当光子在纳米尺度的立体迷宫中自由穿行时,一个超越硅基计算的新时代正加速到来。
这背后,是中国科研工作者对基础研究"深水区"的持续探索,更是创新驱动发展战略在微观世界的生动实践。