最近我们工厂的氮化铝陶瓷基板在生产过程中遇到了问题，他们时不时会在镀镍后鼓起一些透明的水泡，用针轻压一下就会破掉。更糟糕的是，腔体四周还出现了灰黑色的“锈斑”，不过背面还依然光亮如新。这种情况只出现在环框的四角，而且分布有规律。我们把这个问题分析了一下，发现跟镀前基材和烘干工艺有关系。经过显微镜下观察，发现这些问题主要是由于钨层连续性失效导致的。我们在表面发现了大量的YAP和YAM玻璃相，镍层无法与它们形成金属键，所以应力释放后就鼓起了水泡。另外，我们还进行了一组烘干对比试验，把“起泡”和“发黑”拆成两个变量来锁定真凶。结果发现如果使用冷水冲洗再倒扣烘干，就会导致腔体积水并水解变黑；而如果用热水冲洗然后切水再朝上烘干，黑斑就能彻底消失。为了解决这个问题，我们制定了一个双保险方案。首先是把来料把关好，建立钨层连续性检验图谱；然后在工艺固化上给产品做热水冲洗、切水还有朝上烘干等处理，彻底杜绝积水死角。实施这个方案后，起泡和发黑同步归零了，产品一次性通过810℃氮氢退火考核。