听我讲个故事,讲的是一个团队是怎么把实验室里的东西变成实实在在的产品的。故事主角是中国电科55所,地点是在六朝古都南京,有个研究宽禁带半导体的国家重点实验室。这个实验室在2007年的时候入选了国防科工委的“国防科技创新团队”,还得了好多荣誉。 以前国内做宽禁带半导体这块儿卡脖子的情况挺严重的。07人把这个难题放在自己身上,决定从零开始攻关。他们当初没多少钱,2000年自己掏钱几千万元建平台,一步一个脚印地做。 后来国家开始支持他们了。近五年他们承担了80多个国家级课题,包括好多重大专项和863项目。发明专利拿了31项,国际专利也有2项。有一回做高温测试的时候遇到难题,400℃的直流特性需要现场测试。他们没有专业的设备,就用加热板加热电偶自己搞了个测试系统。熬了好几天夜终于把这事给办了。 他们在核心工艺上也有大突破。外延生长速率提升到了100微米以上,离子注入激活率达到了90%。17500 V高压SiC二极管都做出来了。 在人才这块儿也很有规划。首席专家拿了国务院政府特殊津贴,还有好几个成员入选了省里的人才工程。博士后工作站和微电子学硕士点都在同步运行呢。 科研平台也很硬气。科研生产面积有5000多平方米,超净厂房3000多平方米,1500多平方米是1000级的。240台高端设备覆盖了外延、工艺、检测全流程。 他们在产学研这块儿也做得不错。跟中科院物理所、山东大学、西安电子科技大学还有中车集团、国家电网这些机构都有合作。清华北大的学生去参观的时候都说:“原来我们真的追上来了!” 现在实验室落地后要面向新能源、电动机车、智能电网这些千亿级的市场。目标是把高端芯片国产化的瓶颈给突破掉,带动国内产业链升级,让中国制造的新能源产品走向全球高端赛道。 回首往事不难看出中国在GaN和SiC技术上确实下了大功夫。